程秀蘭

程秀蘭博士

博士生導(dǎo)師

研究員（微電子學(xué)與固體電子學(xué)）

平臺主任（先進(jìn)電子材料與器件校級平臺）
        

主要研究方向：

先進(jìn)微納加工技術(shù)，薄膜鈮酸鋰光電子器件，基于氮化硅平臺的無源器件開發(fā)與研究，硅基光探測器、調(diào)制器等有源器件制備與研究，高階衍射光學(xué)元件設(shè)計與加工，CMOS集成電路130nm工藝開發(fā)。

曾參與并承擔(dān)863、02專項等多個國家重大科研項目子項目的研究。

同時長期從事本科及研究生專業(yè)課程教學(xué)工作，

所授課程包括：《半導(dǎo)體物理與器件》、《半導(dǎo)體器件原理》、《先進(jìn)微納加工技術(shù)與應(yīng)用》、《集成電路制造技術(shù)》、《半導(dǎo)體集成電路制造理論》、《微電子材料與器件特性的表征》、《微電子可靠性與成品率》等。

先后曾在鐵道部戚墅堰機車車輛工藝研究所、上海貝嶺股份有限公司、中芯國際集成電路制造有限公司（SMIC）邏輯技術(shù)發(fā)展與制造中心工作，從事技術(shù)研發(fā)工作。

2009-2010年先后至美國University of Arkansas （UARK）及University of California at Berkely (UC Berkeley) 訪問研究，分別從事納米孔DNA/生物大分子檢測、片上集成納米級單生物分子檢測應(yīng)用的表面等離子體波傳感器等方面的研究。

學(xué)術(shù)研究：

1. 先進(jìn)微納加工技術(shù)

2. 薄膜鈮酸鋰光電子器件

3. 基于氮化硅平臺的無源器件開發(fā)與研究

4. 硅基光探測器、調(diào)制器等有源器件制備與研究

5. 高階衍射光學(xué)元件設(shè)計與加工

6. CMOS集成電路130nm工藝開發(fā)

授課教學(xué)：

《半導(dǎo)體物理與器件》（48學(xué)時），全日制碩博士，春季學(xué)期  

《先進(jìn)微納加工技術(shù)與應(yīng)用》（48學(xué)時），全日制碩博士，春季學(xué)期