程秀蘭

程秀蘭博士

博士生導師

研究員（微電子學與固體電子學）

平臺主任（先進電子材料與器件校級平臺）
        

主要研究方向：

先進微納加工技術(shù)，薄膜鈮酸鋰光電子器件，基于氮化硅平臺的無源器件開發(fā)與研究，硅基光探測器、調(diào)制器等有源器件制備與研究，高階衍射光學元件設計與加工，CMOS集成電路130nm工藝開發(fā)。

曾參與并承擔863、02專項等多個國家重大科研項目子項目的研究。

同時長期從事本科及研究生專業(yè)課程教學工作，

所授課程包括：《半導體物理與器件》、《半導體器件原理》、《先進微納加工技術(shù)與應用》、《集成電路制造技術(shù)》、《半導體集成電路制造理論》、《微電子材料與器件特性的表征》、《微電子可靠性與成品率》等。

先后曾在鐵道部戚墅堰機車車輛工藝研究所、上海貝嶺股份有限公司、中芯國際集成電路制造有限公司（SMIC）邏輯技術(shù)發(fā)展與制造中心工作，從事技術(shù)研發(fā)工作。

2009-2010年先后至美國University of Arkansas （UARK）及University of California at Berkely (UC Berkeley) 訪問研究，分別從事納米孔DNA/生物大分子檢測、片上集成納米級單生物分子檢測應用的表面等離子體波傳感器等方面的研究。

學術(shù)研究：

1. 先進微納加工技術(shù)

2. 薄膜鈮酸鋰光電子器件

3. 基于氮化硅平臺的無源器件開發(fā)與研究

4. 硅基光探測器、調(diào)制器等有源器件制備與研究

5. 高階衍射光學元件設計與加工

6. CMOS集成電路130nm工藝開發(fā)

授課教學：

《半導體物理與器件》（48學時），全日制碩博士，春季學期  

《先進微納加工技術(shù)與應用》（48學時），全日制碩博士，春季學期